Tin công nghiệp

Thiết kế phòng sạch bán dẫn cần tuân thủ nghiêm ngặt các tiêu chuẩn của Hiệp hội thiết bị và vật liệu bán dẫn quốc tế và "Quy tắc thiết kế nhà máy sạch công nghiệp điện tử". Quá trình thiết kế phải dựa trên khái niệm quản lý rủi ro, xem xét tổng thể các yếu tố như nhu cầu quy trình, kiểm soát môi trường và an toàn vận hành. Lớp phòng sạch cần được xác định theo yêu cầu của quá trình, thông thường khu vực cốt lõi yêu cầu ISO 3-5, độ chính xác kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm cần đạt ± 0,1 ℃ và ± 1% RH。

1- Tên đề tài: Giải pháp nâng cao hiệu quả đầu tư phát triển kết cấu hạ tầng thương mại ( strong>

Áp dụng khái niệm bố cục mô đun hóa, phân chia rõ ràng các khu vực chức năng như khu công nghệ cốt lõi, khu phụ trợ, khu thiết bị...... Thiết bị công nghệ phải được sắp xếp theo thứ tự dòng chảy công nghệ, với đường dẫn truyền vật liệu ngắn nhất. Phòng thanh lọc nhân viên phải được đặt ở lối vào khu sạch sẽ, bao gồm các quy trình hoàn chỉnh như thay giày, cất áo khoác, tắm vòi sen, mặc quần áo sạch.

Phòng sạch bán dẫnChiều cao tịnh không nên thấp hơn 3,0 mét, chiều cao sandwich kỹ thuật không thấp hơn 1,8 mét. Khoảng cách thiết bị cần cân nhắc nhu cầu bảo trì vận hành, chiều rộng kênh chính không nhỏ hơn 2,0 mét. Khu vực lắp đặt thiết bị lớn phải thiết lập lối vào chuyển thiết bị, kích thước đáp ứng yêu cầu ra vào thiết bị lớn nhất.

II. Tiêu chuẩn hệ thống lọc không khí

Khu vực lõi sử dụng dòng chảy một chiều thẳng đứng và tốc độ gió được kiểm soát ở 0,45 ± 0,1m/s. Tỷ lệ vải đầy đủ của bộ lọc hiệu quả cao không dưới 80%, tỷ lệ mở lưới trở lại không dưới 50%. Số lần trao đổi không khí trong khu vực dòng chảy không một chiều không ít hơn 50 lần/giờ, đảm bảo phân phối đồng đều luồng không khí.

Chênh lệch áp suất giữa khu vực sạch và khu vực không sạch không nhỏ hơn 15Pa và chênh lệch áp suất giữa các lớp phòng sạch khác nhau không nhỏ hơn 10Pa. Gradient chênh lệch áp suất phải tuân theo nguyên tắc giảm dần từ khu vực có độ sạch cao sang khu vực có độ sạch thấp. Cảm biến chênh lệch áp suất nên được thiết lập ở các khu vực quan trọng để cho phép giám sát thời gian thực.

3, tiêu chuẩn kiểm soát thông số môi trường strong>

Độ chính xác kiểm soát nhiệt độ phòng sạch bán dẫn 22 ± 0,5 ℃ (vùng in thạch bản); Độ chính xác kiểm soát độ ẩm tương đối 45 ± 3%; Cảm biến nhiệt độ và độ ẩm nên đặt một điểm đo trên 100 mét vuông; Hệ thống phải có khả năng phản ứng nhanh, dao động nhiệt độ và độ ẩm không vượt quá phạm vi cài đặt.

Kiểm soát độ sạch ≥ 0,1 μm nồng độ hạt không vượt quá 10.000/m3 (ISO cấp 5); ≥ 0,3 μm nồng độ hạt không vượt quá 1020/m3 (ISO cấp 5); Biên độ khu vực thiết bị chính xác để kiểm soát microvibration không lớn hơn 1 μm; Điện trở bề mặt điều khiển tĩnh 106-109 Ω.

B5-03=giá trị thông số Ki, (cài 3) strong>

Điện trở suất của hệ thống nước tinh khiết ≥18,2M Ω · cm (25 ℃); Tổng hàm lượng carbon hữu cơ ≤5μg/L; Tổng số vi khuẩn ≤10CFU/100ml; Hệ thống thông qua cấp nước tuần hoàn, tốc độ dòng chảy không dưới 1m/s.

Ống khí đặc biệt cho phòng sạch sử dụng thép không gỉ EP; Độ tinh khiết khí ≥99,999%; Hàm lượng hạt ≤0,1 μm; Được trang bị thiết bị giám sát trực tuyến và cắt khẩn cấp.

B5-05=giá trị thông số Kd, (cài 2) strong>

Thiết lập nền tảng độc lập cho khu vực thiết bị chính xác chống rung cấu trúc; Tần số rung cấu trúc được kiểm soát dưới 25Hz; Áp dụng cách ly rung lò xo, hiệu quả cách ly rung không thấp hơn 95%; Cơ sở thiết bị cách ly với kết cấu kiến trúc.

Thiết bị chống rung quạt, máy bơm nước và các thiết bị điện khác đặt nền tảng giảm rung; Hệ thống đường ống thiết lập kết nối linh hoạt; Móc treo ống gió thông qua móc treo giảm rung; Bàn làm việc thiết bị chính xác thiết lập thiết bị cách ly rung nổi không khí.